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概要
液化窒素は-196℃の極低温のため、供給設備からユースポイントまでの距離が長くなると、配管中で液化窒素がガス化し、供給量が不安定になったり脈動を起こし、微量のコントロールができなくなるといった現象が起こります。サブクーラー・システムは液化窒素の過冷却システムで、液化窒素の使用や安定的微量コントロールを実現します。
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